合肥真空箱自动氦检漏设备择优推荐「博为光电」

关于真空检漏

漏孔的气流特性

气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1.01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态

检漏方法的分类

检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。

充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。

真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。

其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。

所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。

真空设备制造过程中的检漏

在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先组焊完内层室壁并检漏，确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理，对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先对室壁做严格检漏，然后才能包覆外层结构。

在条件允许情况下，所有真空法兰与其接管（包括真空室体法兰与室体壁）均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰，即便在安装调试阶段可能满足了密封要求，但在设备使用过程中，受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，从而导致法兰变形和密封性能下降。

加工制造过程中，严格执行真空作业卫生和作业规范，对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后，需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面，应该具有保护措施，严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时，更应精心作业，尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。

真空系统的密封性非常重要，各个部分要分别检漏又显得麻烦，那有没有一个方法可以进行检漏工作呢，任何一个地方的泄漏都能监测到，是有的。

真空系统经过长时间的运行，会发生老化，年久失修而造成泄漏问题，特别是运动的接口处更是因为摩擦而发生泄漏，因此泄漏问题会随着时间的推移而不可避免，真空泵油雾分离器发生泄漏只要使用性能更稳定的氟胶圈即可解决，那真空系统的一些微小泄漏其实是较难发现的，如果长期没有发现，泄漏情况就会加重，影响生产。

真空泵操作人员应该严格记录每次的点检情况，以当故障发生时快速发现问题并解决。发生泄漏的时候也能更快分析出泄漏的点。静态升压法是真空检漏的简单方法之一。该方法只需要通过一个工具—测量规管即可，就不用再额外使用其他的工具了。该工具使用方法也非常的简单，只需要将容器抽空达到所需的压力范围，并关掉泵的阀门，将真空泵与容器分离，就可以用该工具测量容器内压力随着时间的变化而变化的情况，就可以得出相关的泄漏数据。连同真空泵油雾分离器整个封闭系统一并检测。

利用该工具可以准确测出设备的总体密封情况，以保证真空能够满足生产条件。只要只用这个工具，就能检测整个系统是否发生泄漏是不是非常的简便，真空泵油雾分离器也不用再单独检漏了。但是简单的方式也会有一定的局限性，该方法只能进行检漏，却不能发现泄漏所在。

要找到泄漏到底发生在哪里，就需要辅助以其他检测方法。这种方法虽然是简单的但是不是也不是好的，特殊情况应该使用特殊的检测方案。建议大家平时多积累真空技术知识，临危不惧，保持清醒与冷静才是硬道理。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

外漏和内漏

我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。

罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。