南平真空箱式氦检漏系统规格齐全 博为光电售后满意

真空箱氦检漏及回收系统基本原理

采用背压法对被检工件进行漏率检测，并对氦气进行回收利用。首先对被检工件放入真空箱内，充入一定压强的氮气，作耐压测试，通过保压判断压降确定是否有大漏；然后对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，真空箱与检漏仪的检漏口相接，若被检工件有泄漏，则漏入真空箱的氦气可通过检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。

为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

真空检漏的具体方法

为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

这种情况通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的较大漏点，检漏步骤为：

①用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。

②第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些，重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

综上三种问题，通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开一缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。

真空严密性试验技术指导（汽机定期试验）

1、操作危险点、安全措施和注意事项（按工作顺序填写与执行）：

试验时，如真空下降至85kPa或低压缸排汽温度超过57℃，应停止试验，启动真空泵运行，恢复正常运行方式。

试验时当凝结水温度大于45℃时，应及时通知化学注意精处理运行情况。当凝结水温度大于50℃时，应及时通知化学退出精处理运行。

2、试验方法及步骤

得值长令，##号机组真空严密性试验。

确定 ##号机组负荷大于80%，运行正常。

确定 ##号机组凝汽器真空应大于90kPa以上。

确定真空泵良好，维持二台运行，一台作备用。

确定有关真空数值（就地、LCD及DEH）显示均正常。

解除机组协调控制，且锅炉燃烧稳定。

记录机组负荷、凝汽器排汽温度、凝结水温度、真空等有关数据。

解除备用真空泵的联锁。

关闭两台运行真空泵入口碟阀，并停止两台运行真空泵，30秒后开始记录，每30秒记录一次真空值。

8分钟后试验结束，立即启动两台真空泵运行，检查入口碟阀联开正常。

取其中后5分钟内的平均值算出真空平均下降速度。真空严密性试验结果（ ）kPa/min，试验结果（ ）。

试验结束，汇报值长并做好凝汽器真空严密性试验结果的分析和记录。