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真空设备使用过程中的注意事项

在真空设备使用运行阶段，时常出现设备气密性下降，总体漏率上升的情况，这是影响真空设备正证常工作的主要原因。造成这种现象的原因包括：机械振动造成连接部位松动；经常拆卸部位的密封圈可能损坏或安装不正确；由于冷、热冲击而发生变形和疲劳破坏；某些部件或材料因受工作介质的腐蚀而破坏；某些原本被水、油或其他脏物堵塞的漏孔重新释通；以及应力集中而造成裂纹等。

正确使用真空设备，应该将检漏工作纳入真空设备日常维护、管理规范之中，例如定期做静态升压检测实验。操作人员发现设备气密性下降应及时解决，根据其设备使用情况和故障现象来分析泄漏原因，并采取适当的检漏手段，检出漏孔位置，及时修补。不要等到设备出现多种、多处泄漏，已经无法正常工作时再去检漏维修。

另外，平时准备充足的密封备件，定期（而不是出现问题后）更换易损件，也是做好真空检漏工作、保证设备正常运行的主要措施。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

外漏和内漏

我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。

罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。

汽机真空系统检漏方法

空气泄漏造成危害很大，必须采取一些手段在停机和运行时都要进行查找，消除漏点，提高真空。以下是几种常见的检漏手段。

（1）找漏：当停机时，在条件允许的情况下，向凝汽器，然后查找泄漏的地方，发现漏点及时修补处理，处理之后需要再次找漏。找漏的缺点是，必须在停机，而且是在冷态时检漏。另一个缺点是，查漏不完全。那些只有膨胀压力下才有的泄漏，办法找不到漏点。

检漏，不适用于空冷岛检漏。