广州电子检漏仪***「博为光电」

铀是固态，而扩散分离需要的是气体。为此, 得把金属铀变成氮化物UF6，UF6在室温下就会蒸发。一个不利的因素是，在潮湿气氛中很容易生成腐蚀性很强的和铀的氧化物，铀的氧化物又是危险的材料。这两种情况在气体扩散分离法中应当防止。

在曼哈顿计划中, 的分离是把UF6通过几公里长的多孔管道的扩散后才获得的。

对整个扩散系统的密封性要求之高是的。潮湿空气不能进入工艺容器之中。雅可比博士在当时被誉为曼哈顿计划中的橡树岭扩散工厂的总设计师。为了成功的分离出，他对真空检漏技术提出的严格的要求有

（1）新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。

（2）新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。

（3）仪表的指示能够反映出漏孔的大小, 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中, 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时,明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。

质谱检漏仪仪器的小可检漏率

当仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的的漏孔漏率，称为仪器可检漏率，用Qmin表示。

（1）所谓佳工作条件，是指被检件出气和漏气都小，它与检漏仪连接后不会影响检漏仪质谱室的正常工作，因此不需加辅助泵。同时，检漏仪的参量也调整在佳工作状态，这时检漏仪能发挥其性能。

（2）所谓动态检漏，是指检漏时，检漏仪的真空系统仍在对质谱室进行抽气，且仪器的反应时间不大于3s的情况。

（3）所谓小可检，是指检漏仪输出仪表上可以观察出来的微小的指示变化，即小可检信号。这个小可检信号主要受无规律起伏变化的仪器的本底噪声和漂移所限制。本底噪声是由于仪器各参数的不稳定引起的，例台电源电压变化、真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大倍数变化、外界电磁场干扰等都会引起输出仪表的不稳定摆动。漂移被认为是由于电子学上的原因引起的。如果漏入的氦气产生的输出指示的变化小于噪声和漂移之和，就很难判断究竟是漏气信号还是噪声和漂移指示，因而噪声和漂移值也就成为能否判断出漏气信号的关键值。

氦质谱检漏仪的功能特点：

1、支持正压检漏，负压检漏。

2、自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果。

3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。

4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。

5、支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底。

6、机器的性能支持长时间在线测试。

7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。

8、配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤。

9、双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击。

10、支持定制检漏工作台，更加便捷使用。

氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。