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真空法氦质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的； 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

检漏仪仪器设备特点

全自动氦质谱检漏仪

全自动氦质谱检漏仪的显著优点：

(1)操作简便：检漏仪结合简捷的双键操作功能及内置智能化系统为您提供简单但强大的测试性能。

(2)功能强大：适用于各种检漏方法，优化设计的质谱室及真空系统功能强大，能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。

(3)配置齐全：多种系统配置，多种可选件，可以灵活地组成各种各样的系统配置。

(4)坚固耐用：在坚固耐用方面的革新设计，使得检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。

折叠台式检漏仪

台式检漏仪的显著优点：

(1)适合批量测试使用：该设备包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪，大大缩短检漏周期。

(2)前级泵可选择性：可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。

(3)操作简便：自动调整、校准、回零，使得检漏操作简便可靠。

(4)运行稳定：单极开关启动或关闭，阀门，保证设备可稳定运行百万次；自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。

氦质谱检漏仪的几种检漏方式

氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种，一种是常规泄漏检测，另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端，并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中，方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实：分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率（分子泵出口处的气压与入口处的压力之比），即不同气体的反向扩散。

反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱仪检漏仪可达到300Pa（通常传统检漏仪小于0.05Pa），适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。如果该对的泄漏率和气体释放率较大或体积较大，则如果将泄漏检测器直接连接到泄漏检测器，则可能无法拉高泄漏检测器的真空度，从而导致泄漏检测器无法工作。在这种情况下，必须添加辅助真空系统以提高试件的抽速。简单的辅助真空系统仅需要一个机械泵和两个阀。复杂的系统可以由前级泵，辅助泵，阀门，真空计和标准泄漏组成。次级泵可以是扩散系统或罗茨泵，前级系统优选是气镇机械泵。

将测试件连接到仪器的泄漏检测端口以排空，并用装满氦气的容器覆盖测试件。如果测试件有泄漏，氦气会通过泄漏进入测试件，后到达质谱仪管。检测。测得的泄漏率是被测零件的总泄漏率。无法确定有多少泄漏以及每个泄漏的确切位置。可以看出，钟罩法是基于喷雾法的检漏法。

氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。在进行泄漏检测之前，用的加压容器将氦气加压到试件中（压力的大小由压力和时间控制），然后取出试件，吹走表面以吸收氦气，然后将其放置在的容器中。检漏罐。泄漏检测箱连接到泄漏检测器的泄漏检测端口，并排空泄漏检测箱以执行泄漏检测。如果设备中存在泄漏，则被泄漏压过的氦会释放到泄漏检测罐中到达质谱仪管。用这种方法测得的泄漏率也是总泄漏率。