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经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

 集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：现在各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

氦质谱检漏仪主要特点

用途广泛：可以替代或者结合现有方法（如气泡检漏或压力衰减检漏）使用

***的微处理器控制，使得操作大大简化

全自动的启动设置

3 分钟内即可开始测试

对氦气具有出色的选择性，让您在不受其它任何气体的影响下读出氦气的泄漏

氦气灵敏度可以按需调节，将测试成本及氦气消耗降至低

可以使用电池工作，也可以连接到插座上

检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点：

①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。

②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

③检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的检漏仪器。

压力容器是指盛装气体或者液体，承载一定压力的密闭设备。贮运容器、反应容器、换热容器和分离容器均属压力容器。常见的有反应器、杜瓦瓶、热交换器、冷凝器等。压力容器在生产制造过程中需要进行焊接工序，完成后必须进行密封性泄露测试保证产品的密封性。若发生微小泄露，容器中储存气体会逐渐流失，直接对企业造成经济损失；若储存的是有毒有害气体，还会造成周边人员的伤亡。常见的检漏方法，例如卤素检漏、加压水中气泡检漏等无法检测出细小的漏点，氦质谱检漏仪因采用安全的氦气无损检漏，检测精度高，漏点位置明确等优点正逐步替代传统检漏方法。