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发布时间:2021-11-16 07:38:00 作者:博为光电
氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度及其校准
氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。所谓“佳工作条件”是指仪器参数调整到佳值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的大波动量。
如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时,给出仪器小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin,能较方便地估计检漏效果。
浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o,则仪器浓度灵敏度。
折叠台式检漏仪
台式检漏仪的显著优点:
(1)适合批量测试使用:该设备包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪,大大缩短检漏周期。
(2)前级泵可选择性:可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。
(3)操作简便:自动调整、校准、回零,使得检漏操作简便可靠。
(4)运行稳定:单极开关启动或关闭,阀门,保证设备可稳定运行百万次;自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。
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