揭阳真空氦质谱检漏仪***「多图」

***的检漏技术—氦质谱检漏技术，其在空调两器生产中的使用情况，针对存在的问题，对自动化氦检技术作了探索并实践。

空调器是由制冷剂在压缩机的驱动下而循环制冷的产品，在这种循环制冷的过程中，制冷系统（尤其蒸发器和冷凝器）是密闭的，一旦制冷剂泄漏，不但制冷效果降低甚至丧失制冷能力，同时污染大气，所以保证制冷系统的气密性是空调器生产的关键。

真空氦检技术在钢桶气密性检测中的应用

一、漏率的含义

漏率的概念及单位：漏率也叫漏气速率，是指处于压差下的气体，在单位时间内通过漏孔流向低压端的气体量。Q=Δ(P·V)/ΔT常用的漏率单位：毫巴·升/秒 mbar·l/s；帕·立方米/秒 pa·m3/s。

二、几种工业上的气体检漏方法

1、水泡法

这是钢桶标准的测漏试验方法。这种方法只适用于钢桶的型式检验，不适合钢桶的在线检测，因为检测时间长、效率低、劳动强度大、可靠性低。

2、正压压降法

向被检工件充入一定压力的气体，稳压一段时间,如果工件上有漏孔，气体会从漏孔漏出，工件内的压力会下降，用压力传感器检测工件内的压力变化ΔP，工件漏率大小：

正压压降法-特点及应用：

优点：提供清晰的检测结果；干式检测；设备成本相对便宜；检测过程的操作不依赖与操作者的经验。

为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。

不同真空范围内的抽气时间计算

中真空领域的抽气时间计算

这里所指的中真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。

真空抽气要考虑的要素：

(1)到达真空度；

(2)抽气速度；

(3)导通率；

(4)实际抽气速度；

(5)气体放出率；

(6)漏率。

用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：

（1）选择表面放出气体少的材料；

（2）通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；

（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。