真空箱氦检漏及回收系统基本原理

采用背压法对被检工件进行漏率检测，并对氦气进行回收利用。首先对被检工件放入真空箱内，充入一定压强的氮气，作耐压测试，通过保压判断压降确定是否有大漏；然后对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，真空箱与检漏仪的检漏口相接，若被检工件有泄漏，则漏入真空箱的氦气可通过检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。

为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践

根据目前氦检系统的种种不足，我们优化了氦检设备布局，改善工件流水线的物流走向，把真空箱改为隧道式结构。设备主要由真空箱检漏系统；充高压气体、抽空、充氦三合一装置；空调两器输送线；回收系统；电器控制系统等组成，具体构成如下：

真空箱检漏系统主要由检漏仪、真空箱体、真空泵组、真空测量装置、真空阀门、气动开门装置、安全光栅、不锈钢管道和机架等组成。

充高压气体、抽空、充氦三合一装置和回收系统主要由电磁阀、真空泵、储气罐、压缩机、压力和真空测量装置以及管道等组成，能对工件进行大漏检测试验，并进行充氦回收等处理。

空调两器输送线主要由铝型材、三倍速链条、驱动电机、升降机、辊筒、工装板等组成。

真空箱氦检漏系统

性能特点：

高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s,R22:0.1克/年。

干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。

全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气。

氨气回收率高达98%以上

。 多独立工位和管路设计, (两箱/三箱)交替工作。

微电脑控制,全自动检测,避免产生误检和漏检。

人机交互界面,实时监测及诊断。

自动判断,声光提示。

输出设备,全数字显示检测结果。

,系统采用配置 确保,自动故障检测。

可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。

高密封性能

专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。