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发布时间:2021-11-04 06:07:00 作者:博为光电
真空箱氦检漏及回收系统基本原理
采用背压法对被检工件进行漏率检测,并对氦气进行回收利用。首先对被检工件放入真空箱内,充入一定压强的氮气,作耐压测试,通过保压判断压降确定是否有大漏;然后对被检工件抽空后充入一定压强的氦气,真空箱与检漏仪的检漏口相接,若被检工件有泄漏,则漏入真空箱的氦气可通过检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置,在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。
为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计,系统原理简图如图一所示,两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程,比如一个工位在检漏时,另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。
自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践
根据目前氦检系统的种种不足,我们优化了氦检设备布局,改善工件流水线的物流走向,把真空箱改为隧道式结构。设备主要由真空箱检漏系统;充高压气体、抽空、充氦三合一装置;空调两器输送线;回收系统;电器控制系统等组成,具体构成如下:
真空箱检漏系统主要由检漏仪、真空箱体、真空泵组、真空测量装置、真空阀门、气动开门装置、安全光栅、不锈钢管道和机架等组成。
充高压气体、抽空、充氦三合一装置和回收系统主要由电磁阀、真空泵、储气罐、压缩机、压力和真空测量装置以及管道等组成,能对工件进行大漏检测试验,并进行充氦回收等处理。
空调两器输送线主要由铝型材、三倍速链条、驱动电机、升降机、辊筒、工装板等组成。
真空箱氦检漏系统
性能特点:
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s,R22:0.1克/年。
干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多独立工位和管路设计, (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制,全自动检测,避免产生误检和漏检。
人机交互界面,实时监测及诊断。
自动判断,声光提示。
输出设备,全数字显示检测结果。
,系统采用配置 确保,自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。
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