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发布时间:2021-10-19 04:54:00 作者:博为光电
氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时,氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后,由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力,因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上,通过标准的泄漏量比较,可以得到氦气的泄漏量。
根据氦气储气库位置与样品的不同关系,氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法,总结了这4种氦质谱法检漏方法的检测原理、优缺点和检测标准。
得到氦质谱检漏器的主要性能指标。
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后,电子系统和真空系统需要一定的响应时间,漏率指示器可以达到较大值,漏率指示器不能立即恢复到零,需要一定时间下降,通常由于氦的吸附和解吸,去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
氦质谱检漏仪开机步骤
1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。
2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。
3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。
4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。
5、将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。
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